事件總覽：中國據報已開始小量生產自主研發的浸沒式深紫外光(DUV)曝光機，引發A股曝光機概念股大幅漲停。

📅 2023年10月：A股曝光機概念股漲停潮

中國據報已開始小量生產自主研發的浸沒式深紫外光(DUV)曝光機，這一消息迅速引爆A股市場。波長光電(301421.SZ)、永新光學(603297.SH)、張江高科(600895.SH)及海立股份(600619.SH)開盤即一字漲停，茂萊光學(688502.SH)與藍英裝備(300293.SZ)漲幅均超過10%。

科技媒體《The Information》報導，一家位於上海、具國資背景的企業整合中國多個浸沒式DUV研發團隊後，已開始生產國產設備。今年初期產量估計僅約5台，2027年可能提高至約20台，顯示產品仍處於小量試產及客戶驗證階段。

📅 2023年：首批系統預計年內交付

首批國產DUV曝光機預計年內交付中芯國際(00981.HK；688981.SH)、華虹半導體(01347.HK；688347.SH)及長鑫科技(688825.SH)。若設備能通過晶圓廠測試並穩定投入量產，可望降低中國晶片業對荷蘭艾司摩爾(ASML)浸沒式DUV設備的依賴，並帶動鏡頭、光學元件、雷射光源及精密控制系統等國產供應鏈需求。

至今影響與未來展望

目前，國產設備在曝光精度、產能、良率及長時間運作可靠性方面，仍須接受晶圓廠實際驗證，短期產量也遠不足以取代進口設備。中國研發的極紫外光(EUV)曝光機則仍處於原型階段，因此A股概念股大漲主要反映供應鏈國產化預期，並不代表國產設備已經實現大規模商業量產。

從產業面來看，國產DUV曝光機的開發和小量生產是中國半導體產業的一個重要里程碑。雖然目前產量有限，但若能通過客戶驗證，未來有望逐步提升國產化率，減少對外依賴。這對於中國半導體產業的長期發展具有重要意義。

國產DUV曝光機的成功研發，標誌著中國在高端製造領域邁出了堅實一步。然而，真正的挑戰在於如何確保這些設備的性能和可靠性，以及如何在國際市場上競爭。

如果你對中國半導體產業的未來發展感興趣，不妨關注這些國產設備的最新進展，以及它們在晶圓廠中的表現。這將是決定中國半導體產業能否實現自主可控的關鍵。

本文改寫整理自公開新聞來源，原始報導由Yahoo奇摩新聞發布。

常見問題 FAQ

國產DUV曝光機的研發背景是什麼？

國產DUV曝光機的研發背景是中國為了減少對進口設備的依賴，提升半導體產業的自主可控能力。這一項目由多家研發團隊整合而成，目前處於小量試產階段。

國產DUV曝光機的主要應用場景有哪些？

國產DUV曝光機主要應用於半導體製造過程中的光刻步驟，用於製造晶片。其主要客戶包括中芯國際、華虹半導體等國內大型晶圓廠。

國產DUV曝光機的未來發展前景如何？

國產DUV曝光機的未來發展前景取決於其在客戶驗證中的表現。如果性能和可靠性得到認可，未來有望逐步提升產量，減少對進口設備的依賴，並帶動相關供應鏈的發展。

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